講座詳細
| 講座名 | 半導体の故障解析 |
|---|---|
| 開催日時 | 平成26年12月18日（木） 13：00～17：00 |
| 講 師 | 東芝ナノアナリシス株式会社 福澤 優子 氏 |
| 会 場 | 北九州学術研究都市 産学連携センター２Ｆ研修室／共同研究開発センター |
| 講座概要 | 故障は製造過程に発生するもの、評価試験中に発見されるもの、市場において時間・環境に依存して発生するもの等があります。 故障解析は、単に原因やメカニズムを究明するだけでなく、フィードバックを図り、的確な対策を施して、不良の再発を防止するために重要な技術分野です。 故障解析で原因やメカニズムを正しく解明するためには、綿密な解析手順に従って、数々の装置、手法を駆使して解析を行わなければなりません。 今回の講座では、故障解析の意義と故障解析の手順、主な故障モードとメカニズム､故障解析に用いられる装置､解析事例をご紹介します。また、走査型電子顕微鏡(ＳＥＭ)やＸ線透視装置を用いた解析実演を行います。 本講座は文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業（https://nanonet.go.jp/）の一環で実施しています。 |
| 講座内容 |
１．はじめに：10分 半導体の信頼性 － 品質を保証するということ － 半導体の故障率 ２．故障解析とは：10分 － 故障解析の意義 ３．故障解析の手順と用いられる装置：10分 ４．主な故障モードとメカニズム：45分 ４－１ 酸化膜経時破壊（ＴＤＤＢ） ４－２ エレクトロマイグレーション ４－３ ストレスマイグレーション ４－４ アルミ腐食 ４－５ パッケージクラック ５．故障解析・分析技術と解析事例：90分 ５－１ 故障個所特定技術 ５－２ 観察技術 ５－３ 表面分析技術 ５－４ 材料分析技術 ５－５ さいごに ６．ＳＥＭ、マイクロスコープ等解析装置、加工装置の見学と解析実演：75分 |
| 対象者 |
・ 半導体を使うアプリケーションに関わる技術者の方 ・ 半導体・エレクトロニクスの品質に関係にある技術者の方 ・ 半導体・エレクトロニクス関連企業に就職を希望する学生の方 |
| 募集定員 | ２０名 |
| 受講料 テキスト代 | ・ 無料 ・ 無料 |
| 備考 | お申込み後、完了画面が表示され、受講受付自動メールが届きます。 ※完了画面が表示されない場合や、メールが届かない場合は、 恐れ入りますが、下記までご連絡ください。 【ご連絡先】 公益財団法人 北九州産業学術推進機構 半導体・エレクトロニクス技術センター 開発支援部 TEL：093-695-3007 |
※募集は終了しました。
