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2021年度 ひびきの半導体アカデミーについて

講座詳細

講座名半導体の故障解析
開催日時平成26年12月18日(木) 13:00~17:00
講  師
東芝ナノアナリシス株式会社 福澤 優子 氏
会  場
北九州学術研究都市 産学連携センター2F研修室/共同研究開発センター
講座概要
 故障は製造過程に発生するもの、評価試験中に発見されるもの、市場において時間・環境に依存して発生するもの等があります。
 故障解析は、単に原因やメカニズムを究明するだけでなく、フィードバックを図り、的確な対策を施して、不良の再発を防止するために重要な技術分野です。
 故障解析で原因やメカニズムを正しく解明するためには、綿密な解析手順に従って、数々の装置、手法を駆使して解析を行わなければなりません。
 今回の講座では、故障解析の意義と故障解析の手順、主な故障モードとメカニズム、故障解析に用いられる装置、解析事例をご紹介します。また、走査型電子顕微鏡(SEM)やX線透視装置を用いた解析実演を行います。
 本講座は文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業(https://nanonet.go.jp/)の一環で実施しています。
講座内容 1.はじめに:10分
  半導体の信頼性 - 品質を保証するということ
          - 半導体の故障率
2.故障解析とは:10分  - 故障解析の意義
3.故障解析の手順と用いられる装置:10分
4.主な故障モードとメカニズム:45分
  4-1 酸化膜経時破壊(TDDB)
  4-2 エレクトロマイグレーション
  4-3 ストレスマイグレーション
  4-4 アルミ腐食
  4-5 パッケージクラック
5.故障解析・分析技術と解析事例:90分
  5-1 故障個所特定技術
  5-2 観察技術
  5-3 表面分析技術
  5-4 材料分析技術
  5-5 さいごに
6.SEM、マイクロスコープ等解析装置、加工装置の見学と解析実演:75分
対象者
・ 半導体を使うアプリケーションに関わる技術者の方
・ 半導体・エレクトロニクスの品質に関係にある技術者の方
・ 半導体・エレクトロニクス関連企業に就職を希望する学生の方
募集定員
20名
受講料
テキスト代
・ 無料
・ 無料
備考お申込み後、完了画面が表示され、受講受付自動メールが届きます。

完了画面が表示されない場合や、メールが届かない場合は、
 恐れ入りますが、下記までご連絡ください。
 【ご連絡先】
 公益財団法人 北九州産業学術推進機構
 半導体・エレクトロニクス技術センター 開発支援部
 TEL:093-695-3007

※募集は終了しました。

センターの紹介

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