講座詳細
| 講 座 名 |
MEMS入門講座 |
|---|---|
| 開催日時 | 2019年2月13日（水）10:00～17:30（受付9:30～） |
| 講 師 |
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 教授 江刺 正喜 氏 |
| 会 場 |
北九州学術研究都市 産学連携センター 2F 研修室 |
| 講座概要 | 半導体技術によってSiチップ上に回路だけでなくセンサやアクチュエータ構造などを集積化したMEMS (微小電気機械システム)は、ITをはじめいろいろなシステムの鍵を握る要素として用いられ、売り上げは13%/年の割合で増大してきました。 LSI上にウェハ状態でMEMSなどを転写する技術が、高密度・高性能MEMSの異種要素集積化のため開発されてきました。これにはワイヤレス通信のためのLSI上のマルチフィルタやPZTMEMSスイッチ、安全な看護ロボットなどのための触覚センサネットワーク、マスクレス電子線描画のためのアクティブマトリックスマルチ電子源、マルチバイオセンサのためのLSI上のダイアモンド電極アレイなどがあります。 MEMSは多様で標準化しにくいため、低価格で効率の良い開発が求められています。このため、組織の壁を越えて、設備や情報を共有する工夫についても説明します。 本講座は文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業（http://nanonet.mext.go.jp/）の一環で実施します。 |
| 講座内容 | 第1部 MEMSの基礎・製作工程・要素 1-1．マイクロマシーニングとMEMS 1-2．MEMSの製作工程と設計評価 1-2.1 パターニング 1-2.2 エッチング 1-2.3 堆積と応力制御 1-2.4 接合 1-2.5 表面マイクロマシーニングと集積化 1-2.6 パッケージングと組立 1-2.7 設計・評価 1-3．MEMSの要素 1-3.1 センサ 1-3.2 アクチュエータ 1-3.3 エネルギー源 第2部 MEMSの応用 2-1．自動車への応用 2-2．ヘテロ集積化 (MEMSとLSIの融合)と次世代携帯機器 2-3．センサネットワーク・高機能センサ 2-4．光マイクロシステム 2-5．バイオ・医療用マイクロシステム 2-6．製造・検査装置 2-7．高度化と有効活用への道 質疑応答・名刺交換 |
| 対象者 | 半導体･エレクトロニクス分野にかかわる企業の方､研究者･学生の方､ ナノテクノロジープラットフォームをご利用の方､ご利用をご検討中の方､ MEMSに関心のある方は、是非、ご参加ください。 |
| 募集定員 |
50名（定員なり次第締め切ります） |
| 受講料 テキスト代 |
・ 無料 ・ 無料 |
| 備考 |
【ご連絡先】 |
※募集は終了しました。
