装置紹介

ケミカルプロセス装置群(ケミカルプロセス室)

イオン注入装置酸化炉拡散炉プラズマCVD減圧CVDリアクティブイオンエッチャースパッタ装置UVクリーナー高速熱処理装置レーザーマイクロスコープ超純水処理装置ドラフトチャンバー

リソグラフィ装置群(イエロールーム)

電子ビーム描画装置コータ/ディベロッパステッパ両面マスクアライナコンタクト露光装置膜厚測定器超純水処理装置ドラフトチャンバー

組立測定装置群(組立測定室)

走査型電子顕微鏡ダイシングソーボンディング装置比抵抗測定装置マニュアルプローバデバイスアナライザデジタルマイクロスコーププリント基板作製装置

(レイアウト設計室)

EDAツール