講座詳細
| 講座名 | 『ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座』 文部科学省ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰﾌﾟﾗｯﾄﾌｫｰﾑ事業・ひびきの半導体ｱｶﾃﾞﾐｰ 一環講座 ※定員に達しました。キャンセル待ちをご希望でしたら、下記よりお申込みください。 |
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| 開催日時 | 2021年11月17日(水)～19日(金) 各日9:00～17:00 |
| 講 師 |
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター長・教授 戸津 健太郎 氏 |
| 会 場 |
北九州学術研究都市 共同研究開発センター |
| 講座概要 |
ピエゾ抵抗型のMEMS圧力センサの原理や加工プロセス（フォトリソグラフィ、イオン注入、CVD、ウェットエッチング、スパッタリング、RIE、ダイシング、ワイヤボンディング等）の説明と装置操作体験により、MEMSデバイス、プロセスに対する理解を深めます。また、事前に作製したセンサをプリント基板に実装し、Wi-Fi無線モジュール、インターネットを介してスマートフォン等で測定値をモニタリングできるようにします。MEMS技術は、ロボット、IoT、AIなどに多用されるセンサに欠かせない重要な技術となっております。市内企業や学術研究機関等に対して、研究開発の振興、生産性向上への取り組み、新たなアイデア・創作などにつながれば幸いです。 ※圧力センサは事前に作製したものを使用します。 本講座は文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業（http://nanonet.mext.go.jp/）の一環で実施します。 |
| 講座内容 |
【1日目】講義（MEMSとは、代表的なMEMSの構造と役割、ピエゾ抵抗型圧力センサ仕組み、工程フローなど）、安全教育、フォトリソグラフィ、イオン注入、CVD、ウェットエッチング、スパッタリング、RIEなどの装置操作体験 |
| 対象者 |
・半導体・エレクトロニクス分野に関わる企業の方、研究者 及び 学生 ・ナノテクノロジープラットフォーム利用者、関係者 |
| 募集定員 |
5名（定員に達しました） ※定員に達しました。キャンセル待ちをご希望でしたら、下記よりお申込みください。 |
| 受講料 |
・ 無料 |
| 備考 |
お申込み後、画面が表示され、自動メールが届きます。 |
※募集は終了しました。
