装置紹介

ケミカルプロセス室（クリーンルーム）ご紹介

ケミカルプロセス装置群

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イオン注入装置酸化炉拡散炉プラズマCVD減圧CVDリアクティブイオンエッチャースパッタ装置UVクリーナー高速熱処理装置レーザーマイクロスコープ超純水製造装置ドラフトチャンバー

リソグラフィ装置群

電子ビーム描画装置コータ／ディベロッパスピンコーターステッパマスクアライナ両面マスクアライナ膜厚測定器超純水製造装置ドラフトチャンバーEDAツール

組立測定装置群

走査型電子顕微鏡ダイシングソーボンディング装置比抵抗測定器マニュアルプローバデバイスアナライザデジタルマイクロスコープ