支援例

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令和2年度　利用課題

課題番号利用課題名主な設備名利用機関名
F-20-FA-0001 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 有限会社FTCコーポレーション
F-20-FA-0004 感光性樹脂の研究 リソグラフィ装置群 株式会社FSCE
F-20-FA-0005 多様な物性測定のための電極作製と評価 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-20-FA-0006 マイクロ電極を用いたバイオ応用 リソグラフィ装置群 早稲田大学
F-20-FA-0007 弾性表面波デバイスの作製及びグラフェンの物性評価 組立測定装置群 九州工業大学
F-20-FA-0008 ファンアウト型ウエハレベルパッケージ作製 リソグラフィ装置群 株式会社ピーエムティー
F-20-FA-0009 高感度水晶MEMSセンサの開発 ケミカルプロセス装置群 KOA株式会社
F-20-FA-0010 微小孔アレイデバイスを用いた細胞解析技術の構築 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-20-FA-0011 3次元パワーSoC 実現に向けてのプロセス技術の開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-20-FA-0013 機械加工面形状測定用MEMSデバイスの開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-20-FA-0014 ダイヤモンドの高耐圧パワーデバイス応用 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-20-FA-0015 位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 リソグラフィ装置群 九州大学
F-20-FA-0016 MEMS技術を用いた機能性表面の創製 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-20-FA-0018 歯科材料の表面分析 ケミカルプロセス装置群 九州歯科大学
F-20-FA-0020 電子ビームによる微細パターンの描画 リソグラフィ装置群 株式会社TCK
F-20-FA-0021 ダイヤモンドダイオードの電極作製 リソグラフィ装置群 佐賀大学
F-20-FA-0024 機能性伝熱面の作製 リソグラフィ装置群 宇部工業高等専門学校
F-20-FA-0025 スライダ用マイクロ溝・パターンの試作 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学

令和元年度　利用課題

課題番号利用課題名主な設備名利用機関名
F-19-FA-0001 ファンアウト型ウエハレベルパッケージ作製 ケミカルプロセス装置群 株式会社ピーエムティー
F-19-FA-0002 微小孔アレイと微小電極アレイを有する細胞解析デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-19-FA-0003 マイクロ電極を用いたバイオ応用 リソグラフィ装置群 早稲田大学
F-19-FA-0004 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 有限会社FTCコーポレーション
F-19-FA-0006 高精度MEMS 傾斜センサの開発 ケミカルプロセス装置群 KOA株式会社
F-19-FA-0007 ウェハパターンめっきの形状、分析 組立測定装置群 株式会社新菱
F-19-FA-0008 パワー半導体デバイスの研究 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-19-FA-0010 位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 リソグラフィ装置群 九州大学
F-19-FA-0011 MEMS 熱流束センサーを用いたミニチャネル内流動沸騰の研究 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-19-FA-0012 パワーデバイス用Ni マイクロメッキ接合の高温信頼性の研究 組立測定装置群 早稲田大学
F-19-FA-0013 Si メタサーフェスの作製 ケミカルプロセス装置群 京都大学
F-19-FA-0014 ペロブスカイト薄膜の熱電特性 組手測定装置群 九州工業大学
F-19-FA-0015 歯科用CAD/CAM コンポジットレジンの接着特性 組立測定装置群 九州歯科大学
F-19-FA-0016 ３次元パワーSupply on Chip のプロセス技術の開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-19-FA-0017 MEMS 技術を用いた機能性表面の創製 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-19-FA-0018 MOS 構造サンプルを用いたシリコンウェーハのCV 特性評価 組手測定装置群 株式会社SUMCO
F-19-FA-0020 ダイヤモンドトランジスタの微細ゲートとプロセス用フォトマスクの作製 リソグラフィ装置群 佐賀大学
F-19-FA-0021 機械加工面形状測定用MEMS デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-19-FA-0022 水晶を用いた高感度MEMS センサの開発発 ケミカルプロセス装置群 KOA株式会社
F-19-FA-0023 機能性伝熱面の作製 ケミカルプロセス装置群 宇部工業高等専門学校
F-19-FA-0024 デバイス試作および試作品解析 ケミカルプロセス装置群 株式会社SUMCO
F-19-FA-0026 イオン注入によるコンタクト形成方法の調査 ケミカルプロセス装置群 株式会社SUMCO
F-19-FA-0027 Al-SiO2 サーメットの生成 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-19-FA-0028 小角X 線溶液散乱のためのマイクロ流体デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 北海道大学
F-19-FA-0029 ナノ機能材料の合成及びナノエネルギーデバイスへの応用 組立測定装置群 九州工業大学
F-19-FA-0030 感光性樹脂の研究 リソフラフィ装置群 株式会社FSCE
F-19-FA-0031 ヒータ作製 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-19-FA-0032 誘電泳動デバイスの開発 リソグラフィ装置群 呉工業高等専門学校
F-19-FA-0033 CMOS 集積回路要素技術実習 ケミカルプロセス装置群 株式会社アソウ・アルファ

平成30年度　利用課題

課題番号利用課題名主な設備名利用機関名
F-18-FA-0004 4×4電極の作製 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-18-FA-0005 マイクロ電極を用いたバイオ応用 組立測定装置群 早稲田大学
F-18-FA-0006 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 有限会社FTCコーポレーション
F-18-FA-0007 CMOS試作によるシリコンウェーハの評価 ケミカルプロセス装置群 株式会社SUMCO
F-18-FA-0008 窒素ドープされたチョクラルスキーシリコン単結晶の酸素析出挙動調査 ケミカルプロセス装置群 株式会社SUMCO
F-18-FA-0009 イオン注入シリコンウェハの熱処理挙動 ケミカルプロセス装置群 株式会社SUMCO
F-18-FA-0010 ナノ機能材料の合成及びナノエネルギーデバイスへの応用 組立測定装置群 九州工業大学
F-18-FA-0011 酸化シリコンの面方向熱伝導率測定 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-18-FA-0012 薄膜積層型MEMS熱流束センサを用いた高分解能沸騰熱伝達計測の研究 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-18-FA-0013 MEMS傾斜センサの開発 リソグラフィ装置群 KOA株式会社
F-18-FA-0014 位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 リソグラフィ装置群 九州大学
F-18-FA-0015 パワーデバイスに関する研究 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-18-FA-0016 超音波カッティング装置による半導体サンプル切断面観察 組立測定装置群 株式会社高田工業所
F-18-FA-0017 露光条件調整におけるレジスト膜厚評価 ケミカルプロセス装置群 産業技術総合研究所九州センター
F-18-FA-0018 高感度水素センサの研究開発 リソグラフィ装置群 KOA株式会社
F-18-FA-0019 超音波センサ向けTx/Rx回路の開発 ケミカルプロセス装置群 京セラ株式会社
F-18-FA-0020 Siの可視・近赤外ナノフォトニクス応用 ケミカルプロセス装置群 京都大学
F-18-FA-0022 ハーフインチFOWLPの試作開発 ケミカルプロセス装置群 株式会社ピーエムティー
F-18-FA-0023 機械加工面形状測定用MEMSデバイスの開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-18-FA-0024 金銀パラジウム合金に対するアルミナブラスト処理の作用機序 組立測定装置群 九州歯科大学
F-18-FA-0025 MEMS技術を用いた機能性表面の創製 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-18-FA-0026 ダイヤモンドトランジスタの微細ゲート作製 リソグラフィ装置群 佐賀大学
F-18-FA-0027 微小孔アレイと微小電極アレイを有する細胞解析デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-18-FA-0028 ３次元パワーSupply on Chipのプロセス技術の開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-18-FA-0030 超親水性微細構造を用いたミニチャネル内流動沸騰熱伝達促進 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-18-FA-0031 SiCウェハーのチップ加工 組立測定装置群 佐賀県地域産業支援センター 九州シンクロトロン光研究センター
F-18-FA-0032 界面活性剤を添加した水のプール沸騰気泡底部のミクロ液膜厚さの計測 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-18-FA-0033 マイクロストリップ線路上に作成した平行電極による循環腫瘍細胞検出に関する研究 リソグラフィ装置群 呉工業高等専門学校
F-18-FA-0034 液体金属駆動による熱スイッチング素子の開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-18-FA-0035 半導体デバイスの腐食評価 リソグラフィ装置群 三菱ケミカル株式会社
F-18-FA-0036 歪みセンサーの開発 ケミカルプロセス装置群 九州大学
F-18-FA-0037 SiO2膜付Siウェハ上へのSiN厚膜堆積 ケミカルプロセス装置群 産業技術総合研究所
F-18-FA-0040 ダイヤモンド・パワーデバイスの高耐圧化構造作製プロセスの構築 組立測定装置群 九州工業大学
F-18-FA-0041 電極間に固定化したDNAの電気的特性評価 リソグラフィ装置群 成蹊大学
F-18-FA-0042 機能性伝熱面の作製 リソグラフィ装置群 宇部工業高等専門学校
F-18-FA-0043 4重極電極の製作 リソグラフィ装置群 防衛大学校
F-18-FA-0045 CMOS集積回路要素技術実習 ケミカルプロセス装置群 株式会社アソウ・アルファ

平成29年度　利用課題

課題番号利用課題名主な設備名利用機関名
F-17-FA-0001 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 有限会社FTCコーポレーション
F-17-FA-0003 光モードスイッチの試作開発 ケミカルプロセス装置群 九州大学
F-17-FA-0004 マイクロ電極を用いたバイオ応用 リソグラフィ装置群 早稲田大学
F-17-FA-0007 超音波カッティング装置による半導体サンプル切断面観察 組立測定装置群 株式会社高田工業所
F-17-FA-0008 ミニマルファブシステム装置を利用したC-セミサービス事業の実現可能性研究 組立測定装置群 株式会社PMT
F-17-FA-0009 ３次元パワーSupply on Chipのプロセス技術の開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-17-FA-0010 酸化シリコンの面方向熱伝導率測定 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-17-FA-0011 デバイス試作および試作品の開発 リソグラフィ装置群 株式会社マツシマメジャテック
F-17-FA-0012 細胞解析用微小孔アレイデバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-17-FA-0013 マイクロ・ナノ構造を用いたミニチャネル内流動沸騰熱伝達促進 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-17-FA-0015 ダイヤモンドMOSET作製技術の研究 リソグラフィ装置群 佐賀大学
F-17-FA-0016 プール沸騰におけるミクロ液膜の形成・伝熱特性の研究 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-17-FA-0017 細胞外電位計測デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-17-FA-0019 高感度水素センサの研究開発 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-17-FA-0020 イオン注入シリコンウェハの熱処理挙動 ケミカルプロセス装置群 株式会社SUMCO
F-17-FA-0021 MEMS傾斜センサの開発 ケミカルプロセス装置群 KOA株式会社
F-17-FA-0022 機械加工面形状測定用MEMSデバイスの試作 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-17-FA-0023 レジスト膜厚の推移と装置内温湿度との関連性の評価 ケミカルプロセス装置群 産業技術総合研究所
F-17-FA-0024 熱電マイクロジェネレーター リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-17-FA-0026 MEMS技術を用いた機能性表面の創製 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-17-FA-0027 金銀パラジウム合金に対するアルミナブラスト処理の作用機序 組立測定装置群 九州歯科大学
F-17-FA-0028 革新的機能性高分子絶縁材料の開発に関する研究 組立測定装置群 九州工業大学
F-17-FA-0029 位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 リソグラフィ装置群 九州大学
F-17-FA-0030 シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 リソグラフィ装置群 兵庫県立大学
F-17-FA-0031 シリコン基板への深溝構造の作製 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-17-FA-0032 機能性伝熱面の作製 リソグラフィ装置群 宇部工業高等専門学校
F-17-FA-0034 循環腫瘍細胞の誘電特性測定用デバイスの開発 組立測定装置群 一般財団法人ファジィシステム研究所
F-17-FA-0035 パワーデバイスの研究開発 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-17-FA-0036 放射光実験用試料のチップ状加工 組立測定装置群 九州シンクロトロン光研究センター
F-17-FA-0037 ポテンショスタット法のためのオンチップ抵抗の実装方法の開発 ケミカルプロセス装置群 北九州市立大学
F-17-FA-0038 アルミニウム薄膜のアノード酸化による絶縁層の形成 ケミカルプロセス装置群 福岡工業大学
F-17-FA-0039 シリコンナノピラー群の作製 リソグラフィ装置群 産業技術総合研究所
F-17-FA-0040 歪みセンサーの開発 ケミカルプロセス装置群 九州大学

平成28年度　利用課題

課題番号 利用課題名 主な設備名 利用機関名
F-16-FA-0001 循環腫瘍細胞検出のためのマイクロウェルアレイの作製 ケミカルプロセス装置群 一般財団法人ファジィシステム研究所
F-16-FA-0002 細胞解析用微小孔アレイデバイスの製作 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-16-FA-0004 3次元積層パワーSoC用オンチップキャパシタの検討 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-16-FA-0006 陽極酸化法による粗面化処理 ケミカルプロセス装置群 株式会社フジコー
F-16-FA-0008 デバイス試作および試作品解析 ケミカルプロセス装置群 株式会社SUMCO
F-16-FA-0009 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 有限会社FTCコーポレーション
F-16-FA-0011 電気ニッケルめっきを用いる電気自動車用SiCパワーモジュールの開発 リソグラフィ装置群 早稲田大学
F-16-FA-0013 炭化ケイ素コーティングのＣＶＤ合成 組立測定装置群 早稲田大学
F-16-FA-0014 Altering the electronics property of graphene nanoribbon by adsorption of molecular nanoparticles リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0015 シリコン太陽電池の裏面パッシベーションのためのSiN膜の最適化 ケミカルプロセス装置群 大阪大学
F-16-FA-0016 MEMS技術を用いた機能性表面の創製 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0019 Ag/Ag2S Core-Shell微粒子を用いた新型回路の開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0021 細胞解析用微小孔・微小電極アレイデバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-16-FA-0022 超親水性マイクロ･ナノ階層構造によるプール沸騰限界熱流束促進 組立測定装置群 九州工業大学
F-16-FA-0023 酸化シリコンの面方向熱伝導率測定 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0024 ミニチャネル内流動沸騰実験用MEMSセンサの製作 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0026 血管誘導機能を有する透明人工殻の開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0028 ガンマ線検出用位置検出型TES型マイクロカロリメータの開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0029 ポリイミド塗れ性確認 リソグラフィ装置群 豊田通商株式会社
F-16-FA-0030 シリコンエッチング ケミカルプロセス装置群 株式会社九州セミコンダクターKAW
F-16-FA-0034 シリコンウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 リソグラフィ装置群 兵庫県立大学
F-16-FA-0035 パワー半導体素子のボンディングワイヤ密着性の評価 組立測定装置群 九州工業大学
F-16-FA-0036 レーザー干渉法による沸騰気泡底部のミクロ液膜厚さの計測 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0038 オペアンプのレイアウト依存製造性評価 リソグラフィ装置群 北九州市立大学
F-16-FA-0039 金銀パラジウム合金に対するアルミナブラスト処理の作用機序 組立測定装置群 九州歯科大学
F-16-FA-0041 γ‐(AlxGa1‐x)2O3混晶系薄膜の解析 リソグラフィ装置群 佐賀大学
F-16-FA-0042 ポリマー複合材を用いた熱スイッチの研究 組立測定装置群 九州工業大学
F-16-FA-0043 抵抗変化型メモリ素子を用いたニューラル学習回路の開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-16-FA-0044 構造的アプローチによる平面測定用5点法MEMS変位計デバイスの高精度化 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-16-FA-0045 濡れ性こう配の製作 リソグラフィ装置群 宇部工業高等専門学校
F-16-FA-0047 細胞マイクロパターン技術の開発 リソグラフィ装置群 熊本大学
F-16-FA-0048 マイクロギャップ電極用マスクの作成 リソグラフィ装置群 大阪大学

平成27年度　利用課題

課題番号 利用課題名 主な設備名 利用機関名
F-15-FA-0001 細胞解析用微小孔・微小電極アレイデバイスの開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-15-FA-0002 電気化学計測のためのマイクロピラミッドアレイ電極の作製 ケミカルプロセス装置群 産業技術総合研究所
F-15-FA-0004 炭化ケイ素のＣＶＤ合成 組立測定装置群 早稲田大学
F-15-FA-0005 表面音響光学効果を用いたポイントオブケア向け高感度バイオセンサーの開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-15-FA-0006 誘電体ナノ粒子の生成と物性測定 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-15-FA-0007 TES(超伝導転移端温度計)型ガンマ線マイクロカロリーメータの製作と性能評価 ケミカルプロセス装置群 九州大学
F-15-FA-0008 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 有限会社FTCコーポレーション
F-15-FA-0009 MEMSセンサを用いたミニチャネル流動沸騰熱伝達 組立測定装置群 九州工業大学
F-15-FA-0010 SiO2自立薄膜の面方向熱伝導率測定 リソグラフィ装置群 九州大学
F-15-FA-0011 デバイス試作および試作品解析 リソグラフィ装置群 株式会社SUMCO
F-15-FA-0012 機能性透明人工殻の開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-15-FA-0013 セラミックスの耐食性評価 リソグラフィ装置群 TOTO株式会社
F-15-FA-0014 マイクロはんだバンプの形成 リソグラフィ装置群 株式会社新菱
F-15-FA-0016 シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 リソグラフィ装置群 1)兵庫県立大学大学院工学研究科、2)日本オイコス株式会社
F-15-FA-0018 高感度水素センサの開発 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-15-FA-0019 パワーSoC用3次元積層基板構成法の研究 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-15-FA-0021 半導体基板の膜厚減少量評価 リソグラフィ装置群 三菱化学株式会社
F-15-FA-0023 リフトオフ用Wf．の作製 ケミカルプロセス装置群 株式会社高田工業所
F-15-FA-0025 沸騰熱伝達メカニズム研究用MEMSセンサの製作 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-15-FA-0027 高効率インバータ用シリコンパワーダイオードの高速化 リソグラフィ装置群 公益財団法人アジア成長研究所
F-15-FA-0031 シリコン太陽電池の表面パッシベーションのためのSiN膜の最適化 ケミカルプロセス装置群 大阪大学
F-15-FA-0032 自立膜基板の作成 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-15-FA-0034 パワーデバイス用シリコン基板の開発 ケミカルプロセス装置群 産業技術総合研究所
F-15-FA-0035 濡れ性こう配の製作 リソグラフィ装置群 宇部工業高等専門学校
F-15-FA-0039 LED評価基板のワイヤーボンディングとダイシング 組立測定装置群 三菱化学株式会社
F-15-FA-0041 誘電泳動を用いた血液細胞解析のための電極設計 リソグラフィ装置群 一般財団法人ファジィシステム研究所
F-15-FA-0042 MEMS技術を用いた機能性表面の創製 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-15-FA-0044 部分的金属被覆DNAを用いたDNA 分解酵素センサの開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-15-FA-0046 平面測定用5点法MEMS 変位計デバイスの高精度化 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-15-FA-0047 セラミックサンプル作製 組立測定装置群 FASTテクニカ株式会社
F-15-FA-0049 パワーデバイスの作製 組立測定装置群 株式会社ジェイテクト
F-15-FA-0052 電解エッチング法による微小孔を有するTi箔の作製 リソグラフィ装置群 株式会社フジコー
F-15-FA-0058 光モードスイッチの研究 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-15-FA-0059 ダイシング加工によるSiCチップ試料作製 組立測定装置群 佐賀県九州シンクロトロン光研究センター
F-15-FA-0061 超小型変位センサに関する研究 ケミカルプロセス装置群 九州大学

平成26年度　利用課題

課題番号 利用課題名 主な設備名 利用機関名
F-14-FA-0002 細胞解析用微小孔・微小電極アレイデバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0003 フォトリソグラフィーおよびリフトオフを用いたMTJ素子作製 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-14-FA-0004 シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 ケミカルプロセス装置群 日本オイコス㈱
F-14-FA-0005 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 有限会社FTCコーポレーション
F-14-FA-0006 パワーSupply on Chip用多層積層基板の開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0008 マイクロはんだバンプの形成 ケミカルプロセス装置群 株式会社新菱
F-14-FA-0009 炭化ケイ素の低温合成 組立測定装置群 早稲田大学
F-14-FA-0010 オンチップマイクロロボットを用いた遊泳微生物の刺激応答計測 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-14-FA-0011 非接触給電・通信システムで使用するMEMS傾斜角センサの開発 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-14-FA-0012 1本鎖／2本鎖DNA複合体の部位特異的金属被覆 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0013 光モードスイッチの研究 ケミカルプロセス装置群 九州大学
F-14-FA-0014 ナノ構造Si自立薄膜を用いた熱輸送と電子輸送現象の解明 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0015 ナノ構造化白金触媒を利用した高感度水素センサの開発 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-14-FA-0017 デバイス試作および試作品解析 ケミカルプロセス装置群 株式会社SUMCO
F-14-FA-0018 ガンマ線検出用TES(超伝導転移端温度計)型マイクロカロリーメータの製作と性能評価 ケミカルプロセス装置群 九州大学
F-14-FA-0019 平面測定用マルチカンチレバー変位計デバイスの製作 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0020 微細構造表面の沸騰熱伝達特性 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0022 パワーデバイスの作製 ケミカルプロセス装置群 株式会社ジェイテクト
F-14-FA-0023 リン添加酸化亜鉛薄膜の形成 ケミカルプロセス装置群 熊本大学
F-14-FA-0025 電気化学計測のためのマイクロピラミッドアレイ電極の作製 ケミカルプロセス装置群 産業技術総合研究所
F-14-FA-0028 ナノ・マイクロ構造面における固液気三相界面の機能制御と工学的応用 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0030 μバリスタの表面処理および表面観察 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0032 機能性伝熱面の創製 ケミカルプロセス装置群 宇部工業高等専門学校
F-14-FA-0036 誘電泳動力を用いた細胞の分離技術の開発 ケミカルプロセス装置群 防衛大学校
F-14-FA-0037 溝付きシリコンウエハーの作製 ケミカルプロセス装置群 佐賀大学
F-14-FA-0039 沸騰熱伝達メカニズム研究用MEMSセンサの製作 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-14-FA-0042 次世代パワーモジュールの高温・高電圧実装技術に関する研究 組立測定装置群 九州工業大学
F-14-FA-0048 ワイドギャップ半導体のレーザー顕微鏡観察 組立測定装置群 佐賀大学

平成25年度　利用課題

課題番号 利用課題名 主な設備名 利用機関名
F-13-FA-0001 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 FTCコーポレーション
F-13-FA-0002 傾斜角センサ作製プロセスの改善 リソグラフィ装置群 早稲田大学
F-13-FA-0004 MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-13-FA-0005 局在表面プラズモン共鳴を利用した血液検査マイクロデバイスの開発 組立測定装置群 九州工業大学
F-13-FA-0006 半導体、太陽光発電パネル開発のための成膜加工 ケミカルプロセス装置群 シンセイ
F-13-FA-0007 ブロックコポリマーを用いたミクロ相分離構造とポーラスフィルムの作製 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-13-FA-0009 マイクロはんだバンプの形成 ケミカルプロセス装置群 株式会社新菱
F-13-FA-0011 DNAの金属被覆によるナノワイヤの形成 組立測定装置群 九州工業大学
F-13-FA-0013 評価用LEDの組み立て 組立測定装置群 三菱化学株式会社
F-13-FA-0014 超小型電流センサのコイル部作製 リソグラフィ装置群 国際東アジア研究センター
F-13-FA-0018 水晶振動子のための新たな励振電極形状の開発 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-13-FA-0019 KOH溶液によるSiエッチング評価 ケミカルプロセス装置群 ローム株式会社
F-13-FA-0022 ナノ構造Si自立薄膜を用いた熱輸送現象の解明 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-13-FA-0023 細胞解析用微小孔デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-13-FA-0025 アルミナコーティング粒子の観察・分析 組立測定装置群 サトーリサーチ
F-13-FA-0027 脳型情報処理回路のためのナノディスクアレイ結合型FinFETの開発 組立測定装置群 九州工業大学
F-13-FA-0028 シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 ケミカルプロセス装置群 日本ファインテック
F-13-FA-0029 酸化亜鉛薄膜へのV族元素のイオン注入 ケミカルプロセス装置群 熊本大学
F-13-FA-0030 フォトリソグラフィー用マスクの作製 リソグラフィ装置群 熊本大学
F-13-FA-0032 3C-SiCを用いたデバイスの開発 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-13-FA-0034 １０トランジスタから構成されたオペアンプの試作 ケミカルプロセス装置群 日本精工株式会社
F-13-FA-0036 超伝導渦糸フローチャネルの試作 リソグラフィ装置群 電気通信大学
F-13-FA-0037 シリコンパワーMOSFET作成 ケミカルプロセス装置群 ㈱ジェイテクト
F-13-FA-0039 超小型変位センサの特性に関する研究 ケミカルプロセス装置群 九州大学
F-13-FA-0040 ガンマ線検出用TES（超伝導転移端温度計）型マイクロカロリーメーターの製作 リソグラフィ装置群 九州大学
F-13-FA-0043 機能性伝熱面の創製 リソグラフィ装置群 宇部高専
F-13-FA-0045 超高速プラズマエッチング用のテストウエハの試作 ケミカルプロセス装置群 産業技術総合研究所
F-13-FA-0046 ナノ複合体の高温における反応性 組立測定装置群 早稲田大学
F-13-FA-0047 MEMS技術を用いた機能性表面の創製 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-13-FA-0050 Siウエハ上へのSiO2層堆積の検討 ケミカルプロセス装置群 九州大学
F-13-FA-0052 微細構造による濡れ性制御 リソグラフィ装置群 宇部高専

平成24年度　利用課題

課題番号 利用課題名 主な設備名 利用機関名
F-12-FA-0001 光エネルギー変換デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 FTCコーポレーション
F-12-FA-0002 水晶のドライエッチング加工技術の開発 リソグラフィ装置群 早稲田大学
F-12-FA-0004 SOI基板上グラフェントランジスタ リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-12-FA-0005 アルミナコーティング粒子の観察・分析 組立測定装置群 サトーリサーチ㈱
F-12-FA-0006 3C-SiC基板を用いたデバイス作製に関する研究 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-12-FA-0007 DNAの金属被覆によるナノワイヤの形成 組立測定装置群 九州工業大学
F-12-FA-0008 局在表面プラズモン共鳴を利用した血液検査マイクロデバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-12-FA-0009 細胞解析用微小孔デバイスの開発 ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-12-FA-0011 マイクロバンプめっきの検討 ケミカルプロセス装置群 ㈱新菱
F-12-FA-0012 機能性伝熱面の創製 リソグラフィ装置群 宇部高専
F-12-FA-0017 Si太陽電池の作製（PBLプロジェクト） ケミカルプロセス装置群 九州工業大学
F-12-FA-0018 サブミクロンスパイラル電極を用いた微粒子収集に関する研究 ケミカルプロセス装置群 ファジィシステム研究所
F-12-FA-0019 水晶エッチング速度の測定に向けたエッチング装置の開発 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-12-FA-0021 超小型変位センサの特性に関する研究 ケミカルプロセス装置群 九州大学
F-12-FA-0022 多目的PWMドライバーLSIの試作 ケミカルプロセス装置群 ㈱パートナー
F-12-FA-0024 半導体プロセスを利用した変位検出マルチカンチレバーの試作 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-12-FA-0025 超小型電流センサのコイル部作製 リソグラフィ装置群 国際東アジア研究センター
F-12-FA-0026 マスク描画装置を用いたカスタムホログラフィック光学素子の製作 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-12-FA-0027 微小アモルファス超伝導体の作製 ケミカルプロセス装置群 電気通信大学
F-12-FA-0028 水晶ＭＥＭＳ技術を用いた高周波QCMセンサの開発 リソグラフィ装置群 早稲田大学
F-12-FA-0033 MEMS技術に基づいた濡れ制御による機能性伝熱面の創製 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-12-FA-0035 半導体、ソーラー用Siウェハー、ガラス基板の成膜加工 ケミカルプロセス装置群 シンセイ
F-12-FA-0038 高感度傾斜センサの生産技術の改善 ケミカルプロセス装置群 早稲田大学
F-12-FA-0039 イオンビーム照射によるDLCの形成及びその評価 リソグラフィ装置群 九州工業大学
F-12-FA-0041 LED評価基板へのワイヤーボンディング 組立測定装置群 三菱化学㈱
F-12-FA-0045 半導体基板の膜ロス評価 リソグラフィ装置群 三菱化学㈱