「ＦＡＩＳ微細加工プラットフォーム」ページをリニューアルしました
「文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業」は、ナノテクノロジーに関する最先端の研究設備とその活用のノウハウを有する機関が緊密に連携して、全国的な設備の共有体制を共同で構築する、平成24年7月から開始された文部科学省の事業です。
FAIS共同研究開発センターは、ナノテクノロジープラットフォーム事業の３つの研究領域のうち「微細加工プラットフォーム」の一員として参加しています。
半導体･エレクトロニクス技術センターのホームページからもご覧いただけます。
