弊所、技術支援員が講演します（15:10～15:35）
微細加工技術は、半導体エレクトロニクスから生まれた技術ではありますが、現在ではMEMSや光デバイスさらにはバイオにまで活用されており、いわば先端の科学技術分野に必須の技術と言えます。それ故、基礎研究から産業応用まで誰もがアクセス可能な技術でなければなりません。
私共、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工プラットフォーム(PF)は、インフラとしての研究開発を行う場を提供するとともに、高度な加工技術の提供も行っており、公開利用で年度あたり1300件を超える産官学の研究者・開発者に有効活用いただいております。
しかしながら、研究分野が異分野故に活用を逡巡されていたり、微細加工技術へのアクセス方法が不明であること等により、利用の機会を失っていた方々も多いかと存じます。本セミナーを通じて、微細加工技術の基礎及び概要を知っていただき、微細加工PFの共用施設を有効に活用いただくきっかけとしていただくことを狙いとします。研究・開発の加速、並びに課題解決の一助になることを願っております。
| 開催日時 | 2021年2月17日（水） 15:00～17:00 |
| 開催場所 | Zoomによるオンラインセミナー |
| 参加費 | 無料 |
| 参加申し込み | 下記URLより事前登録してください。 開催前日にZoomセミナーの招待メールをお送りします。 URL：https://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/seminar2020-1-6.html 申込期限：2/15(月) 万一、前日に案内メールが届かない場合は下記までご連絡をお願いします。 nanofab-coordinators(at)t.kyoto-u.ac.jp ※(at)をアットマークに変更してからご使用ください。 |
| プログラム | 15:00～15:10 １．「ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFのご紹介」 微細加工PF 代表 15:10～15:35 【チュートリアル】 ２．「CMOS回路作製の基礎技術」 北九州産業学術推進機構 安藤秀幸 集積回路の作製や評価に必要な基本的な技術を、CMOS技術を例に、回路 シミュレーション・プロセス技術・デバイス評価技術の一連の流れを分か りやすく解説します。 15:35～16:00 【プラットフォーム技術紹介】 ３．「多様な材料・プロセス開発を叶えるドライエッチング技術」 物質・材料研究機構 渡辺英一郎 物質・材料研究機構は、その名前の通り、様々な材料を使ったデバイスや プロセスの研究開発が行われているため、種々材料に対応可能な装置やプ ロセス技術を提供しています。本セミナーでは、2020年度から共用開始し た原子層エッチング（ALE）装置を用いた微細加工技術について、加工例 を交えて紹介します。 16:00～16:10 休憩 16:10～16:35 【プラットフォーム技術紹介】 ４．「水蒸気プラズマ接合を用いたCOP製マイクロ流路作製技術」 京都大学 土屋智由 シクロオレフィンポリマー（COP）樹脂は耐薬品性，低吸湿性，高光透過 性を有し、自家蛍光性の低さからマイクロ流路デバイスのバイオ応用への 展開が期待されています。本セミナーではこのCOP製流路を低温接合で作 製する技術について紹介します。 16:35～17:00 【プラットフォーム技術紹介】 ５．「超高真空スパッタ装置を用いたスピントロニクス素子用薄膜の作製」 山口大学 浅田裕法 スピントロニクスがもたらした新たな知見としてスピンの流れであるスピ ン流があります。これに用いられる低ダンピング磁性薄膜・多層膜やスピ ンホール効果用電極薄膜の超高真空スパッタ装置による作製技術について 紹介します。 |
