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「微細加工技術 実践セミナー」
～オンライン技術セミナー＆実習コースで
微細加工の基礎と共用施設・技術の活用を学ぶ～
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微細加工プラットフォーム（代表機関：京都大学）では、
文部科学省委託事業「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、
「微細加工プロセス技術セミナー」（オンライン）を開催しています。
今回は、第７回目の技術セミナーのご案内を致します。
産学官、様々な研究開発分野より、多くの皆様の御参加をお待ちしております。
詳細は → こちら
イベント名 「第７回 微細加工プロセス技術セミナー」
開催日時 2021年6月30日（水） 15:30～16:40
開催場所 Zoomによるオンラインセミナー
参加費 無料
参加申し込み こちら ← より事前登録してください。
申込期限 2021年 6月28日(月)
プログラム
15:30～15:35
１．「ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFのご紹介」
微細加工PF 代表機関
15:35～16:00 【チュートリアル】
２．「物理気相成長（PVD）による成膜技術」
名古屋大学 加藤剛志
16:00～16:20 【PF技術紹介】
３．「集積化センサ/アクチュエータを形成可能なSOI-MEMS技術」
香川大学 高尾英邦
16:20～16:40 【PF技術紹介】
４．「高分子マテリアルの微細加工技術」
京都大学 岸村眞治
＜お問い合せ＞：微細加工PF(代表機関)
TEL： 075-753-5656 E-Mail: nanofab-coordinators@t.kyoto-u.ac.jp
