ひびきの半導体アカデミー「ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座」の募集を開始しました。
講座案内チラシ⇒ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座
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講座名 | 『ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座』 |
開催日時 | 2021年11月17日(水)~19日(金) 各日9:00~17:00 |
講師 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター センター長・教授 戸津 健太郎 氏 |
会場 | 北九州学術研究都市 共同研究開発センター (アクセス:https://www.ksrp.or.jp/access/index.html) |
講座概要 |
ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサの試作を通して、微細加工プロセスの基礎を習得します。さらに、試作したセンサを実装し、Wi-Fi無線モジュール、インターネットを介してスマートフォン等で測定値をモニタリングできるようにします。また、MEMS技術は、ロボット、IoT、AIなどのセンサに欠かせない重要な技術となっています。企業や大学等の研究開発の振興、生産性向上、新たなアイデア・創作などにつながれば幸いです。 |
講座内容 |
【1日目】MEMSの構造・役割・仕組・工程フロー、前工程(フォトリソ、イオン注入、 CVD,RIE、スパッタなど)装置操作体験 【2日目】ダイシング、ダイボンド、ワイヤボンディング、プリント基板実装実地体験 |
対象者 | ・半導体・エレクトロニクス分野に関わる企業の方、研究者及び学生の方 ・ナノテクノロジープラットフォーム利用者及び関係者の方 |
募集定員 | 5名(定員になり次第締め切ります) |
受講料 | 無料 |
お申込み | こちら |
備考 ご連絡先 |
お申込み後、完了画面が表示され、講座受付自動メールが届きます。 公益財団法人 北九州産業学術推進機構 |