産総研「計測・診断システム研究協議会」　開催のご案内 |

産総研コンソーシアム「計測・診断システム研究協議会」
第18回プラズマ技術研究会講演会、第8回ミニマル3DICファブ開発研究会講演会
　～ プラズマ技術、装置開発の最前線 ～　　開催のご案内　

　来る、2月26日（金）14:00～、福岡市において、第18回プラズマ技術研究会講演会、第8回ミニマル3DICファブ開発研究会講演会を開催いたしますので、ご案内いたします。
　万障お繰り合わせの上、多数のご参加お待ちしております。


本講演参加ご希望の方は、下記の申込み方法をご覧ください。
下記サイト内で、要旨付プログラムもご覧いただけます。
◆協議会HP:http://unit.aist.go.jp/kyushu/k-kyougikai/index.html
［参加費：無料、申込期限：2月19日(金)］

主催：産総研コンソーシアム「計測・診断システム研究協議会」プラズマ技術研究会、
　　　ミニマル3DICファブ開発研究会
共催：九州半導体エレクトロニクスイノベーション協議会
協賛：応用物理学会九州支部、九州・山口プラズマ研究会、西日本放電懇談会


日時
平成28年2月26日（金）　14：00～17：20

場所
リファレンス駅東ビル　3階会議室H
福岡市博多区博多駅東1丁目16-14
アクセス：http://www.re-rental.com/ekihigashi/access/

申込み方法
下記WEBサイト内「参加申込書（エクセル版）」をご利用の上、プラズマ技術研究会事務局（plasmakkk-ml@aist.go.jp）宛までご送付ください。
◆協議会HP:http://unit.aist.go.jp/kyushu/k-kyougikai/index.html


プログラム
14:00-14:05　開会の挨拶
藤山　寛 （長崎大学　大学院　工学研究科　電気情報科学部門　教授）

14:05-14:10　
今回のテーマの主旨説明
上杉　文彦 （産総研九州センター　製造技術研究部門）

14:10-14:55　
プラズマ耐性材料の開発
永野　光芳　（日本タングステン㈱　営業部　部長）

14:55-15:40　
ミニマルイオンビームスパッタ装置の開発とスピンを活用した新機能デバイス
木村　崇　（九州大学　大学院　理学研究院　物理学部門　教授）

15:40-15:55　休憩

15:55-16:25　
半導体量産ラインへの適用を指向した負荷インピーダンス測定システムの開発
笠嶋　悠司　（産総研九州センター　製造技術研究部門　センサシステム研究G　研究員）

16:25-17:05　
プラズマ技術研究会の過去と未来
藤山　寛　（長崎大学　大学院　工学研究科　電気情報科学部門　教授）

17:05-17:10　閉会の挨拶
上杉 文彦　 （産総研九州センター）　

17:30-19:00
交流会（会費：4,500円、博多駅近辺の居酒屋）



＜お問い合わせ＞
国立研究開発法人 産業技術総合研究所　九州センター
産総研コンソーシアム「計測・診断システム研究協議会」
プラズマ技術研究会事務局　
TEL:0942-81-3590　
E-Mail:plasmakkk-ml@aist.go.jp