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「ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座」【2021/11/17~11/19】

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ひびきの半導体アカデミー「ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座」の募集を開始しました。
講座案内チラシ⇒ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座

お申込み ⇒ こちら

講座名 『ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座』
開催日時 2021年11月17日(水)~19日(金) 各日9:00~17:00
講師 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター センター長・教授 戸津 健太郎 氏
会場 北九州学術研究都市 共同研究開発センター 
(アクセス:https://www.ksrp.or.jp/access/index.html)
講座概要

ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサの試作を通して、微細加工プロセスの基礎を習得します。さらに、試作したセンサを実装し、Wi-Fi無線モジュール、インターネットを介してスマートフォン等で測定値をモニタリングできるようにします。また、MEMS技術は、ロボット、IoT、AIなどのセンサに欠かせない重要な技術となっています。企業や大学等の研究開発の振興、生産性向上、新たなアイデア・創作などにつながれば幸いです。

講座内容

【1日目】MEMSの構造・役割・仕組・工程フロー、前工程(フォトリソ、イオン注入、

     CVD,RIE、スパッタなど)装置操作体験

【2日目】ダイシング、ダイボンド、ワイヤボンディング、プリント基板実装実地体験
【3日目】マイコンプログラミング、評価、まとめ、試作コインランドリや時期PJの紹介
 ※圧力センサは、事前に作成したものを使用します。
 

対象者 ・半導体・エレクトロニクス分野に関わる企業の方、研究者及び学生の方
・ナノテクノロジープラットフォーム利用者及び関係者の方
募集定員 5名(定員になり次第締め切ります)
受講料 無料
お申込み  こちら

備考

ご連絡先

お申込み後、完了画面が表示され、講座受付自動メールが届きます。

完了画面が表示されない場合や、メールが届かない場合は、
 
恐れ入りますが、下記までご連絡ください。

公益財団法人 北九州産業学術推進機構
自動車エレクトロニクスグループ
TEL:093-695-3685 担当:上野・冨田

北九州学術研究都市
公益財団法人北九州産業学術推進機構(FAIS)フェイス
〒808-0135北九州市若松区ひびきの2-1 TEL:(093)695-3111

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