東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、21回目となる今回は公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）と協力して北九州で行います。
現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場としても活用ください。

日時：2023年8月8日（火）～10日（木）
場所：北九州産業学術推進機構（FAIS）会議場
　　　北九州市若松区ひびきの2番1号　北九州学術研究都市
https://www.ksrp.or.jp/fais/info/access.html https://www.ksrp.or.jp/access/floor07.html
主催：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）
共催：東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
参加費：無料
講義資料：冊子は配布せず、MEMSパークコンソーシアムのホームページからダウンロードいただくようにしますので、事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。
申し込み先：https://forms.gle/A4PP42BCKYKXujcj6
問い合わせ先: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　齋藤哲郎
E-mail: t-saitoh@tohoku.ac.jp 　Tel. 022-229-4113

プログラム
8月8日（火）
8:30　受付開始
9:00-12:00　マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜) [戸津健太郎(東北大)]
13:00-15:00　マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境) [戸津健太郎(東北大)]
15:10-17:00　北九州産業学術推進機構（FAIS）活動紹介、施設見学

8月9日（水）
9:00-10:30　マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術 [鈴木裕輝夫(東北大)]　
10:40-12:10　IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]
13:00-14:30　MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]
14:40-15:30　カーボンニュートラル・バイオ応用に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)]
15:40-17:10　MEMS慣性センサ（加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ） [塚本貴城(東北大)]　
17:30-19:00　交流会

8月10日（木）
9:00-12:30　製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]
13:30-15:00　異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治(東北大)]
15:10-16:40　医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]

第２１回MEMS集中講義 → http://www.memspc.jp/openseminar/opense87.html